Durchflussregler & Druckregler für geringe Gasströme
FLEXI-FLOW Compact Massendurchfluss-/Druckregler eignen sich für die genaue Messung und Regelung von Durchflussbereichen zwischen 0...500 mln/min und 0...20 ln/min bei Betriebsdrücken zwischen Vakuum und 17 bar(a). Das Gerät kombiniert einen schnellen und stabilen thermischen Massendurchflusssensor auf Basis der Kapillar-Chip-Technologie mit einer präzisen und bewährten Bypass-Konstruktion. Dank der einzigartigen TCS-Technologie (Through Chip Sensor) wird eine genaue, von Temperatur- und Leitungsdruckschwankungen nahezu unabhängige Massendurchflussmessung erreicht. In Kombination mit integrierten Temperatur- und vor- und nachgeschalteten Drucksensoren ermöglicht die eingebettete Datenbank für 22 Gase eine genaue On-Board-Umrechnung. Die Multiparameter-Instrumente liefern dem Anwender nützliche Prozessinformationen.
Die FLEXI-FLOW Compact Massendurchfluss-/Druckregler sind derzeit in 3 Varianten erhältlich:
- 'Preconfigured Advanced' (PA), Turndown 1:500, Durchfluss + Temperatur + Vor- und Nachdruck, 4 Durchflussbereiche (FS, basierend auf N2):
Typ FF-A500 - 500 mln/min
Typ FF-A2K0 - 2 ln/min
Typ FF-A5K0 - 5 ln/min
Typ FF-A20K - 20 ln/min
- 'Preconfigured Standard' (PS), Turndown 1:50, Durchfluss + Temperatur, 4 Durchflussbereiche (FS, basierend auf N2):
Typ FF-S500 - 500 mln/min
Typ FF-S2K0 - 2 ln/min
Typ FF-S5K0 - 5 ln/min
Typ FF-S20K - 20 ln/min
- 'Built-to-Order' (BtO), Turndown 1:1000; freie Auswahl der Bereiche zwischen 0,5 and 20 ln/min (FS, basierend auf N2),
Typ FF-C10: Durchfluss + Temperatur
Typ FF-C11: Durchfluss + Temperatur + Vor- und Nachdruck;
BtO Modelle können auch zur Konfiguration von Mehrkanalversionen mit bis zu 8 Kanälen verwendet werden.