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Halbleiter- und LED-industrie

Ursprünglich wurden die thermischen Massendurchflussmesser und -Regler in den 70-er Jahren für die Gasdampf-Beschichtung während dem Fabrikationsprozess für die Halbleiterindustrie, entwickelt. Der Halbleitermarkt ist immer noch ein sehr grosser und wichtiger Markt für Firmen wie Bronkhorst. Durch fortwährende Entwicklung auf die Bedürfnisse dieses speziellen Marktes und durch die Einführung von neuer Produkten wie, Gas-, Flüssigkeits- und Dampfinstrumente, ist Bronkhorst zu einem der wichtigsten Partner der Halbleiterindustrie angewachsen. Mit metallisch gedichteten Instrumenten, mit sehr schnellen Instrumenten, mit direkten Einspritz-Systemen und durch die "On-Board Feldbus-Schnittstelle" (Profibus, DeviceNet, etc.) hat Bronkhorst eine hervorragende Reputation in diesem Markt mit sehr hohen Ansprüchen, erlangt.

wafer deposition
GAS FLÜSSIGKEIT
DRUCK DAMPF

 Anwendungsbeispiele und Marktbroschüre

 

Application Note on Supercritical Gas
(Wafer cleaning using supercritical CO2)
Brochure Semiconductor market
(Ultra) low flow Coriolis competence

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