EL-FLOW® metallisch gedichtete
Massendurchflussmesser und -Regler
Die metallisch gedichteten Massendurchflussmessern und –Reglern der Bronkhorst High-Tech B.V. zeichnen sich durch ihre qualitativ hochwertige Oberflächengüte und eine modulare Konstruktionsweise aus. Darüber hinaus besitzen die Geräte eine einzigartige Metall-auf-Metall Abdichtungskonstruktion mit konstant hervorragenden Dichtungseigenschaften. Um den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie (und anderen „high purity“ Anwendungen) gerecht zu werden, sind die Mess- und Regelgeräte mit einer digitalen Platine versehen, die mit einer flexiblen Schnittstelle (Multi-Bus-Technologie) ausgerüstet werden kann. Das Basis-Pc-board der Instrumente verfügt über alle Grundfunktionen, die zum messen und regeln benötigt werden. Die Geräte besitzen ein analoges Ein- und Ausgangssignal, sowie eine RS232 Schnittstelle als Standardausstattung. Zusätzlich besteht die Möglichkeit eine DeviceNetTM, Profibus-DP®, Modbus-RTU und FLOW-BUS Schnittstelle direkt zu integrieren. Die neueste EL-FLOW® Generation bietet eine Multi-Gas/Multi-Range-Funktion, die gerade unseren (OEM) Kunden eine optimale Flexibilität und Prozesseffizienz bietet. Als Hilfe für unsere Kunden liefert Bronkhorst eine kostenlose und einfach zu bedienende Konfigurationssoftware.
generelle Eigenschaften
- Medienberührte Teile elektropoliert
- metallisch gedichtet (erneut abdichtbar ohne Ringe)
- ¼“ VCR Verbindung
- Top-mount-Montage möglich (c-seal/w-seal)
- Reinraumgefertigt
- schnelle Ansprechzeit (t98 herunter bis 500 msec)
- exzellente Temperaturstabilität und Wiederholgenauigkeit
- sehr stabiler Nullpunkt (kein Auto-Zero benötigt)
- Messspannen von 0,1…5 mln/min bis zu 2…100 ln/min (basierend auf Luft)
digitale Eigenschaften
- Analoge und digitale Kommunikation, mit optionaler Schnittstelle auf
DeviceNetTM, Profibus-DP®, Modbus-RTU oder FLOW-BUS
- Drehschalter um die Adressschnittstelle und die DeviceNet Datenrate zu wählen
- RS232 und analoges Ein-/Ausgangssignal erhältlich
- hohe Genauigkeit, Standard: +/- 0,8% vom Messwert zzgl. +/- 0,2% vom Endwert;
auf Anfrage: +/- 0,5% vom Messwert zzgl. +/- 0,1 vom Endwert
- Multi-Gas/Multi-Range Funktion
- Zähl- und Alarmfunktionen
- Einzellager Stromversorgung: +15 oder +24 Vdc
Durchflussbereiche (basierend auf Luft)
Massendurchflussmesser (MFM) |
Bereiche |
| Modell F-111CM (1/4" VCR) |
min. 0,1 ... 5 mln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min |
| Modell TA-111CM (Topmount) |
min. 0,1 ... 5 mln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min |
Massendurchflussregler (MFC) |
Bereiche |
| Modell F-201CM (1/4" VCR) |
min. 0,2 ... 10 mln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min |
| Modell TA-201CM (Topmount) |
min. 0,2 ... 10 mln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min |
Prospekte
Für mehr Information finden Sie hier den Prospekt "METAL SEALED Digital Mass Flow / Pressure Meters and Controllers"
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