FF-C1x

Mass Flow / Pressure Controllers for Low Gas Flows

FLEXI-FLOW Compact models FF-C10 and FF-C11 Built-to-Order (BtO) Mass Flow / Pressure Controllers are suited for accurate measurement and control of flow ranges between 0…500 ml_n/min and 0…20 l_n/min at operating pressures between 0,8 and 17 bar(a). The instrument combines a swift and stable thermal mass flow sensor based on capillary MEMS technology with a precise and proven by-pass construction. Due to the unique, internationally patented TCS Technology (Through Chip Sensor), accurate mass flow measurement, virtual independent of variations in temperature and line pressure is established. In combination with integrated temperature and up- and downstream pressure sensors, the embedded database for 22 gases allows accurate, on-board conversion. The multi-parameter instruments provide the user with useful process information.

FLEXI-FLOW Compact Built-to-Order models feature a Mass Flow / Pressure Controllers a turndown to 1:1000; free selection of ranges between 0,5 and 20 l_n/min (FS, based on N₂). They are currently available in 2 variants:

Type FF-C10: flow + temperature
Type FF-C11: flow + temperature + up- and downstream pressure

BtO models may also be used to configure multi-channel versions up to 8 channels.

Technische Spezifikationen

Mess- / Regelsystem
Durchflussbereich (Zwischenbereiche verfügbar)	min. 0…500 ml_n/min max. 0…20 l_n/min (basierend auf N₂)





Druckbereiche	FF-C10: nicht verfügbar / FF-C11: 0...17 bar(a)



Genauigkeit (inkl. Linearität) (basierend auf der aktuellen Kalibrierung)	bis zu ±0,5% v.M. plus ±0,1% v.E. (N₂/Air/O₂); für andere Gase ist eine Umrechnungsunsicherheit hinzuzufügen; siehe Multi-Gas-Tabelle;




Wiederholgenauigkeit	Durchflusssensor: < ±0,2% v.M.; Drucksensoren: < ±0,2% v.E.
Turndown-Bereich	bis zu 1:1000


max. Betriebsdruck	16 bar(g)










Multi Gas/Multi Range	eingebettete Gasdaten für 22 einzelne Gase sowie beliebige Mischungen dieser Gase




Einschwingzeit (in Regelung, typisch)	< 150 ms
Langzeitstabilität	< 0,5% v.E. über einen Zeitraum von 3 Jahren; danach < 0,2% v.E. pro Jahr


Regelstabilität	< ± 0,1% FS (typical for 1 l_n/min N₂₎


Betriebstemperatur	0 … 50 °C
Lager-/Transportbedingungen	-20 … +80 °C, max. 95% RH (nicht kondensierend)

Einbau	Beliebige Position, Lageempfindlichkeit vernachlässigbar
Temperatursensibilität	Durchflusssensor: Nullpunkt 0,015% v.E./ºC; Spanne 0,05% v.M./ºC; Drucksensoren: Nullpunkt 0,16 mbar/ºC; Spanne 0,05% v.M./ºC
Temperatur-Genauigkeit	± 0,2 ºC (Temperatur des Gerätekörpers)
Genauigkeit Drucksensoren	±0,5% v.E.






Druckempfindlichkeit	standard: < 0,15% v.M./bar typisch N₂; mit Druckkorrektur: typische Verbesserung um Faktor 5



Leckdichtigkeit, nach außen	getestet < 2 x 10^-9 mbar l/s He
Leckage durch geschlossenes Ventil	typisch < 1 x 10^-4 mbar·l/s He

Mechanische Teile

Instrumentenkörper	Aluminium or Stainless steel (selectable);





Werkstoff (medienberührte Teile)	aluminium, stainless steel, silicon nitride, epoxy, aluminium oxide, glass
Oberflächenqualität	< 1,6 mu Ra (<0,8 mu Ra for stainless steel body)

Druckstufe (PN)	16 bar(g) / 250 psig



Max. ΔP	16 bar(d); 20 ln/min models: 5 bar (d)

Prozessanschlüsse	standard: BSPP Innengewinde (ISO1179-1) optional: Klemmring-, Steck- oder Vakuumverschraubungen

Dichtungen	FKM 51415; valve seat: FFKM with PI film; for other materials contact factory
Gewicht	200 g with Aluminium body, 300 g with SS 316 body; add 50 g for Ethernet interface
Schutzart (Gehäuse)	IP40

Elektrische Eigenschaften

Spannungsversorgung	24 Vdc ± 10%


Stromaufnahme max.	2,5 Watt (typical, in control); add 0,9 Watt for EtherNet communication















Digitale Kommunikation	Modbus RTU or FLOW-BUS (selectable) Optional: PROFINET, EtherCAT, Modbus-TCP, Ethernet/IP or POWERLINK







Support-Schnittstelle	USB-C port for easy setup; Optional Bluetooth connection for monitoring


Elektrische Anschlüsse	9-pin D-sub (male)
Zertifikation	CE / UKCA / KC

Elektrische Anschlüsse

Optionen Regelventil

Externe Antriebsmöglichkeiten zum Anschluss an das Instrument

Zertifizierung für explosionsgefährdete Bereiche

Zulassungen / Zertifikate

Downloads

Brochures
FLEXI-FLOW Compact brochure

Manuals
Manual FLEXI-FLOW Compact
Quick Start Guide FLEXI-FLOW Compact
Mounting Instruction Compression Fittings
Mounting Instruction Push-in Fittings

Hook-up diagrams
FLEXI-FLOW Compact Modbus-RTU / FLOW-BUS
FLEXI-FLOW Compact Ethernet

Dimensional drawings
Dimensional drawing FF-C1x

Solids 3D
FLEXI-FLOW Compact MFC-MFM

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