3. Vakuumbeschichtung durch reaktives Sputtern
Beim reaktiven Sputtern handelt es sich um ein Vakuumbeschichtungsverfahren, das zum Auftragen von Beschichtungen mit Antireflexwirkung, zum Härten, gegen Verschleiß, gegen Rost usw. eingesetzt wird. Massendurchflussreglern kommt in diesem Prozess eine Schlüsselrolle für die Gaszufuhr zu.
Wir haben festgestellt, dass eine schnelle Reaktionszeit ein wichtiges Merkmal von Durchflussreglern bei dieser Beschichtungstechnik ist. Der neue Gasdurchflussregler ist mit einem Sensor ausgestattet, der sehr schnell auf Sollwertänderungen (innerhalb von 100 Millisekunden) reagieren kann. Wir haben gelernt, dass ein breiter Durchfluss-Dynamikbereich von Vorteil für reaktive Sputteranwendungen ist, da er es ermöglicht, Gasströme von 0,5 mln/min bis zu 20 ln/min zu regeln. Lesen Sie den Applikationsbericht, um mehr über die für diese Anwendung geeigneten Durchflussinstrumente zu erfahren.“